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本申请公开了一种上电极组件及半导体工艺腔室,上电极组件包括层叠设置的电极板和加热组件;所述加热组件沿径向包括中心加热区和至少一个环形加热区,所述至少一个环形加热区依次环绕所述中心加热区设置,所述中心加热区以及所述至少一个环形加热区分别独立给所述电极板对应的区域进行加热。本申请可以使电极板的温度均匀升高,减少传统整面加热方式需要较长的温度扩散时间,从而可以提高控温效率。由于各区域单独加热,可以增大不同区域间的温差,以适应不同工艺对于不同区域的温度要求。因此,本申请可以增大电极板不同区域间的温度差,
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117352362A
(43)申请公布日2024.01.05
(21)申请号202311403656.3
(22)申请日2023.10.26
(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司
地
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