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本申请公开了一种石墨坩埚及化学气相沉积设备，属于热场坩埚技术领域。石墨坩埚包括外壳体、内筒和隔板组件，外壳体的上表面设置有出气部，外壳体的下表面设置有进气部；内筒设置于外壳体内，内筒与外壳体之间形成夹腔，且内筒的侧壁贯设有第一导气孔和第二导气孔；隔板组件安装于夹腔内以将夹腔分隔为进气室和出气室，进气部通过进气室和第一导气口连通，出气部通过出气室和第二导气口连通。通过使气体在石墨坩埚内两次转向流动，保证基件表面镀膜的均匀性的同时使外壳体的外侧壁尽可能靠近炉体的内侧壁，从而方便在化学气相沉积设备内布
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117344290A
(43)申请公布日2024.01.05
(21)申请号202311484626.X
(22)申请日2023.11.08
(71)申请人甬江实验室
地址315201
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