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本发明公开了一种利用虚拟参考面的白光干涉测量装置及方法，该装置包括：用于产生测量所需照明的白光照明单元，用于构造虚拟参考面并产生参考光的参考光路，用于获取带有待测物体表面形貌信息测试光的测试光路，用于对虚拟参考面以及待测物体表面成像形成白光干涉条纹的成像光路。本发明既能实现物体表面粗糙度的高精度测量，又能实现大口径高纵深物体的形貌测量。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117346682A
(43)申请公布日2024.01.05
(21)申请号202311204596.2
(22)申请日2023.09.18
(71)申请人南京理工大学
地址210094
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