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本实用新型涉及一种测量光入射角度可调的干涉图像采集装置,包括激光器、扩束器、第一分光棱镜、反射镜、第二分光棱镜、第一透镜、测量光扫描模块、第三分光棱镜、测量光调节镜、被测样品、光阑、第二透镜、探测器和计算控制模块,测量光扫描模块具有入射角控制功能,计算控制模块分别连接测量光扫描模块和探测器;与现有技术相比,本实用新型可调整测量光的入射角,能够在不损失测量精度的条件下,扩展干涉面形测量系统动态范围,具有动态范围大、测量精度高、通用性强等优点。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号CN220304491U
(45)授权公告日2024.01.05
(21)申请号202321500527.1
(22)申请日2023.06.13
(73)专利权人上海交通大学
地址20024
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