一种薄膜铌酸锂光栅耦合器及其制备方法和装置.pdfVIP

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2024-01-06 发布于四川
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本发明公开了一种薄膜铌酸锂光栅耦合器及其制备方法和装置，包括衬底、埋氧层、条形波导、周期性光栅结构、包层和遮光结构；埋氧层设置于衬底上，条形波导和周期性光栅结构设置于埋氧层上，周期性光栅结构设置于沿光路方向的条形波导的前方且与条形波导对齐，包层设置于条形波导和周期性光栅结构上，遮光结构设置于包层上，遮光结构包括透光孔，透光孔设置于周期性光栅结构的传播方向上，透光孔的尺寸大于周期性光栅结构的尺寸。本发明实施例有效减少了杂散光对光探测器的信噪比的不良影响，提高了光探测器的信噪比，可广泛应用于集成光学

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117348149A

(43)申请公布日2024.01.05

(21)申请号202311296644.5

(22)申请日2023.10.08

(71)申请人广州铌奥光电子有

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