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本申请公开了一种静电吸盘的处理方法，在该方法中，通过在反应腔室内通入聚合物气体增加静电吸盘侧面的聚合物，使聚合物增加并突显。调整通入反应腔室内吹扫气体的量和/或反应腔室内各个物理参数，使附着于静电吸盘的侧面的聚合物松散化；继续调整通入反应腔室内吹扫气体的量和/或反应腔室内的各个物理参数，使附着于静电吸盘侧面的颗粒物聚集至测试晶圆的边缘，观察测试晶圆的表面颗粒物的存在情况判断静电吸盘的侧面的吸附力，根据静电吸盘的侧面吸附力状况确定是否对静电吸盘进行清洗。本申请避免了静电吸盘脱落的颗粒物对晶圆的污染
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117352453A
(43)申请公布日2024.01.05
(21)申请号202311427499.X
(22)申请日2023.10.31
(71)申请人杭州富芯半导体有限公司
地址3
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