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本公开提供了一种测量微纳器件尺寸的方法、装置、设备及存储介质，可以应用于计算机技术领域、图像处理技术领域、精密测量技术领域和微纳加工与表征技术领域。该方法包括：从第一数字图像中截取目标区域，其中，目标区域包括至少两条相互平行的微纳器件的边缘线；对目标区域进行边缘检测，得到与微纳器件对应的M个目标边缘；针对每个目标边缘，根据目标边缘包括的多个点的坐标对全连接神经网络进行训练，得到与目标边缘对应的曲线参数；根据曲线参数，得到M个目标边缘之间的距离。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117351063A
(43)申请公布日2024.01.05
(21)申请号202311325437.8
(22)申请日2023.10.12
(71)申请人中国科学技术大学
地址2300
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