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本发明提供一种干蚀刻机上部电极板的新型结构，包括有开设有密封安装槽的金属窗和复数个电极板单元，所述密封安装槽内安装有密封圈，所述金属窗连接有复数个防着板，所述防着板使密封圈与电浆隔绝，所述防着板与电极板单元一一对应，复数个所述电极板单元设置在对应的防着板上方。通过在金属窗和上部电极板之间增加防着板，能够使密封圈隔绝电浆，避免上部电极板气道密封圈长时间在高温、电浆及腐蚀环境下运作，在短期出现碳化、皲裂等异常发生，延长密封圈使用寿命，减小开腔保养频率，提高机台稼动率的目的。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117373891A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202311304856.3
(22)申请日2023.10.10
(71)申请人福建华佳彩有限公司
地址351
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