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一种Y掺杂ITO靶材及其制备方法与应用.pdfVIP

一种Y掺杂ITO靶材及其制备方法与应用.pdf

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    本发明公开了一种Y掺杂ITO靶材及其制备方法与应用，属于ITO靶材技术领域，包括以下步骤：S1、将Y掺杂ITO粉体和去离子水混合，加入可溶性淀粉，分散0.5‑3h后，加入羧甲基纤维素基粘结剂进行砂磨，砂磨合格后得到混合浆料，冷冻干燥，得到前驱体粉末；S2、将前驱体粉末装入模具中成型，再冷等静压成型，得到Y掺杂ITO靶坯；S3、将Y掺杂ITO靶坯转移至烧结炉中，在混合气氛下，按照速度1‑2℃/min升温至120‑250℃下，保温1‑2h后，升温至1400‑1600℃，保温5‑18h，之后降至室温，

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117362005A

    (43)申请公布日2024.01.09

    (21)申请号202311307280.6

    (22)申请日2023.10.10

    (71)申请人株洲火炬安泰新材料有限公司

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