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本发明公开一种用于晶圆盒运输车的行程限位解锁装置，涉及半导体加工技术领域。该装置包括：立板，所述立板前表面上端设置有上盖板，所述上盖板上表面连接有按钮导向柱，所述按钮导向柱上端连接有按钮，按钮下端连接有伸缩杆，连接柱侧面通过高等螺丝一轴接在活动板侧面，活动板中间设置有转接板，所述立板前表面下端右侧连接有滑块转接板，所述滑块转接板右端连接有滑块，所述滑块内部连接有直线导轨，所述直线导轨前端连接有端盖一，所述直线导轨后端连接有端盖二，所述端盖一与端盖二之间连接有限位转接板，所述限位转接板上表面后端连
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117373976A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202311669792.7
(22)申请日2023.12.07
(71)申请人沈阳富创精密设备股份有限公司
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