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本申请公开了一种金属沾污收集系统和金属沾污收集方法，所述收集系统包括气相腐蚀腔、与所述气相腐蚀腔连通的第一通道、第二通道、第三通道和第四通道，所述第一通道、第二通道、第三通道和第四通道相互独立，分别用于向所述气相腐蚀腔内通入强酸性气体、氧化性气体、惰性气体和能使亲水晶圆表面疏水化的表面改性气体。收集过程中，向气相腐蚀腔内部通入表面改性气体使亲水晶圆表面疏水化，这样在收集金属沾污时，不会因为晶圆表面的亲水性导致扫描液分散粘连在晶圆表面，能够保障收集系统高效收集金属沾污。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117367924A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202210750298.2
(22)申请日2022.06.29
(71)申请人江苏鲁汶仪器股份有限公司
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