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本发明涉及一种晶粒测试方法及系统，包括：测量晶圆上各晶粒的发光亮度值，得到各所述晶粒的相对亮度值，并获取各所述晶粒的定位信息；根据各所述晶粒的相对亮度值确定各所述晶粒所属的测试等级，各所述测试等级分别具有对应的性能参数标准；根据定位信息对每一测试等级内的晶粒进行抽样点测，得到被抽样点测晶粒的点测性能参数；根据点测性能参数和该被抽样点测晶粒对应测试等级的性能参数标准，确定该被抽样点测的晶粒是否合格。因为判定晶粒是否合格的性能标准进行了细分，这样更符合晶圆上各晶粒的性能分布，提高了检测的精度以及准确
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117374172A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202210776100.8
(22)申请日2022.06.30
(71)申请人重庆康佳光电技术研究院有限公司
地
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