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一种基于折返式物镜的检测设备.pdfVIP

一种基于折返式物镜的检测设备.pdf

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    本发明提供了一种基于折返式物镜的检测设备，属于半导体检测领域，检测设备包括成像单元、变倍镜组、半透半反镜、明场光入射镜筒组、折返式物镜组、补偿镜和载台，折返式物镜组包括开孔式、增透膜加补偿镜两种模式，并在暗场光的出射路径设置功率计，本申请提供了大数值孔径NA的暗场散射信号收集，以及提供明场和暗场可选的混合双通道，实现相同NA的明暗场图像融合，提高了检测精度和灵敏度。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117369107A

    (43)申请公布日2024.01.09

    (21)申请号202311665905.6

    (22)申请日2023.12.07

    (71)申请人苏州矽行半导体技术有限公司

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