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本发明提供了一种晶圆老化测试装置，涉及晶圆测试技术领域。支撑结构具有位于夹具下方的至少一个探针台，探针台具有与晶圆加电板接触的多个第一探针，至少一组线路开关板组设置在支撑结构的旁侧，每组线路开关板组包括具有多个开关的至少一个线路开关板，每组线路开关板组中每个线路开关板与探针台连接，以在开关开启时通过探针台、晶圆加电板对夹具内的晶圆进行加电测试。上述技术方案相当于将所有用于晶圆加电测试的线路开关板均与探针台相连，在对晶圆进行测试时直接通过线路开关板上的开关独立控制测试线路，再通过探针台上的第一探针
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117368543A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202311421514.X
(22)申请日2023.10.27
(71)申请人苏州联讯仪器股份有限公司
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