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本申请涉及硅片加工技术领域，具体公开了气浮定位装置及硅片转运设备，包括用于对片状结构进行定位的气浮平台；气浮平台水平设置且所在平面设置有至少一个定向气浮模块；气浮平台侧面设置有限位结构；定向气浮模块上设置有多个阵列排布的出气通道；出气通道的气流出口方向与竖直方向预设夹角，出气通道排出的气流能产生平衡片状结构重力的支撑力以及产生作用于片状结构的水平驱动力，使片状结构能够在气浮平台上沿预设的水平方向移动，并与限位结构接触。本申请能够通过气流产生的作用力使硅片在水平面上悬浮移动，避免硅片产生磨损，保证
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117373980A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202311447191.1
(22)申请日2023.10.31
(71)申请人安徽华晟新能源科技有限公司
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