GB/Z 42624-2023真空技术　真空计　放气率的测试和报告程序.pdf

1CS23.160

ccsJ78

国

中华人民共和国国家标准化指导性技术文件

GB/Z42624-2023/ISO/TS20177:2018

真空技术真空计

放气率的测试和报告程序

Vacuumtechnology-Vacuumgauges-

Procedurestomeasureandreportoutgassingrates

(ISO/TS20177:2018,IDT)

2023-05-23发布2023-05-23实施

国家市场监督管理总局中非

国家标准化管理委员会也叩

GB/Z42624-2023/ISO/TS20177:2018

目次

前言........……….........……...……….........……….........…….I

引言……………·…………………H

1范倒…………

21见他性引用文件·

3术语和IJE义….........……….........……….........……………2

4符号称哺赂话………........……….........……….........……...……….3

5测试系统……··………….3

5.1一般要求………………........………………·……3

5.2应用流量法的测成系统……………5

5.3祟积系统……………10

6测试方法……….........……...……….........………........…….11

6.1概述……………………….11

6.2推荐的样品制备方式……....………………….12

6.3测试的流程和时间…………………12

6.4测试程序……………13

7测盘不确定度…………........……...……….........……….........…….J7

7.1概述…··………….17

7.2用作流量比较装置的连续膨胀系统（52.2)……………...…·………………18

7.3带有可计算流导元件的流盐系统（5.23)…………18

7.4带有可测有效trl1边的流量系统（524)……………18

7.5带有可调流导元件的流量系统（5.2.5)……….19

7.6基本累积系统（5.3.2)………..