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本发明适用于光伏热场产品制造技术领域，提供了一种快速化学气相沉积碳碳制品方法，包括碳碳制品坯体的加热过程、碳碳制品坯体表面热解碳的形成、碳源气体和辅助气体通气流量的调整和碳碳制品的冷却取出及包装，该装置解决了现有的碳碳制品在进行化学气相沉积的过程中无法有效地缩短整个工艺过程中的时间，且在通入碳源气体和辅助气体的同时无法增加碳源气体和辅助气体在CVD气相沉积炉在反应室内部的滞留时间，导致碳碳制品坯体的碳源气体吸收率降低，无法提高碳碳制品坯体沉积深度，降低了碳碳制品的生产效率的问题，达到并提高碳源气
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117364053A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202311160474.8C04B35/52(2006.01)
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