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本发明公开了智能芯片化学研磨液供给方法，所述方法包括如下步骤：1.厂务水电气与设备相连接，并打开厂务端阀门；2.设备接通电源，旋转开关给设备上电；3.等待设备初始化完成；4.输入配方到数据库；5.按下操作电源启动按钮；6.设备自动启动并执行清洗程序；7.混料罐和供料罐分别清洗3次后自动关闭；8.设备准备完毕，可以执行任务；9.选择配方；10.搬运原料桶至设备原料秤；11.扫码枪扫描原料桶编码；12.系统进行对比，判断编码与数据库中记录的配方是否一致，重量是否一致。本发明在通过电导率液体监测的同时
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN114102439A
(43)申请公布日2022.03.01
(21)申请号202111395263.3
(22)申请日2021.11.23
(71)申请人大连大学
地址11
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