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2024-01-10 发布于四川
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一种谐振压力传感器.pdf

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本发明公开了一种谐振压力传感器，包括一气路接头，所述气路接头用于连接气管且所述气路接头上设置有通气孔，一隔离板，所述隔离板上设置有与所述通气孔连通的第一通孔结构，一压力芯体，一控制电路板，所述控制电路板用于所述压力芯体的谐振压力驱动、检测和信号解算且所述控制电路板上设置有容置所述压力芯体的第二通孔结构；所述气路接头与所隔离板之间、所述隔离板与压力芯体之间采用胶体软连接且实现连接端面气路的密封；所述隔离板与控制电路板之间采用胶体软连接。采用多层软状态连接，在集成封装基础上实现外界应力的良好隔绝，降

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117367630A

(43)申请公布日2024.01.09

(21)申请号202311514777.5

(22)申请日2023.11.14

(71)申请人陕西华燕航空仪表有限公司

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