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本发明属于表面三维形貌测量相关技术领域，并公开了一种基于多触头微反射镜的堆叠片曲面变形测量装置及方法。该测量装置包括光源、阵列掩模、分光器、反射镜、多触头微反射镜和相机，分光器设置在光源后方，阵列掩模设置在分光器和光源中间，反射镜和多触头微反射镜均设置在分光器后方，待测堆叠片设置在多触头微反射镜后方；阵列掩膜用于将光源发出的光按照掩膜阵列的分布分为多束平行入射的光，一束光线用于检测单个堆叠片的曲面变形；多触头微反射镜的前端设置有多个微反射镜，在测量过程中，单个微反射镜伸入相邻的待测堆叠片之间进行
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117367315A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202311252093.2
(22)申请日2023.09.26
(71)申请人华中科技大学
地址430074
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