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一种自动化晶圆盒中转搬运装置及搬运方法.pdfVIP

一种自动化晶圆盒中转搬运装置及搬运方法.pdf

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    本发明属于晶圆盒搬运技术领域，公开了一种自动化晶圆盒中转搬运装置及搬运方法，包括搬运轨道，其上滑动设置有移动座；第一夹臂，转动设置在所述移动座上；第二夹臂，转动设置在所述移动座上，并与所述第一夹臂对称设置；限位组件，设置在所述第一夹臂和第二夹臂上，用于配合所述第一夹臂和第二夹臂实现对晶圆盒的四个方位的夹持限位。本发明通过设置限位组件，可以在利用第一夹臂和第二夹臂上的夹持杆对晶圆盒的侧壁进行夹持的同时，利用限位组件对晶圆盒另外两侧进行限位夹持，避免晶圆盒从夹持杆上脱离，同时可以对晶圆盒进行多方位夹

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117373977A

    (43)申请公布日2024.01.09

    (21)申请号202311678524.1

    (22)申请日2023.12.08

    (71)申请人泓浒（苏州）半导体科技有限公司

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