GB/Z 42625-2023真空技术　真空计　用于分压力测量的四极质谱仪特性.pdf

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盟国

中华人民共和国国家标准化指导性技术文件

GB/Z42625-2023/ISO/TS20175:2018

真空技术真空计

用于分压力测量的四极质谱仪特性

Vacuumtechnology-Vacuumgauges-Characterizationof

quadrupolem部sspectrometersforpartialpressuremeasurement

(ISO/TS20175:2018,IDT)

2023-05-23发布2023-05-23实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

GB/Z42625一2023/ISO/TS20175:2018

目次

前言…..…...............….......…….•.•.•..••.•.....•.••...••.••.••..........•...llI

引言…....……...…·…………..••.••.••...•..••••.•.N

1范围..…··

2规范性引用文件…

3术语和定义..........

4符号和缩略语…··

5不同应用状况下要求或推荐的特征参数.........….......……….4

5.1一般要求.....…IllIllIIIIIIIllIIIIllI……4

5.2QMS的一般特性……….....•.••4

5.3漏率测量与监测〈氯气泄漏〉…....…....……...……….•.•..•.••4

5.4漏率监测（空气泄漏〉

5.5漏率监测（水泄漏〉

5.6残余气体分析

5.7放气率测试...

6表征QMS的真空系统

6.1一般要求

6.2用于表征的单一气体真空系统

6.3用于表征的混合气体真空系统…..…8

7表征与校准程序…....……·…...…...….........…….........….9

7.1一般要求………

7.2质量分辨率……

7.3最小可捡分压力（pMIJpp)………·…”…·…10

7.4最小可检浓度（CMDC）……...............................……··”··……..10

7.5动态范围…....………….....••.••.••...•••••••••11

7.6灵敏度与干扰效应比……….11

7.7线性响应范围….........…...…..….12

7.8相对灵敏度系数......…....................…....12

7.9图形模式（裂解模式〉…..................….....……..13

7.10QMS的放气率…·……13

7.11