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本申请提供了一种测量的装置和方法，能够实现通信波段的LCOS相位的精确测量。该装置包括：偏振转换器件、第一透镜、分束元件、物镜、第二透镜。其中，偏振转换器件获取输入的相干光束，并将相干光束的偏振方向转换为待测LCOS的偏振方向，生成第一光束。第一透镜将第一光束透射至分束元件。分束元件将第一光束透射至物镜，并将来自物镜的干涉光束传输至第二透镜。物镜将第一光束透射至待测LCOS，并透射来自待测LCOS的干涉光束至分束元件，其中，干涉光束由待测LCOS基于物镜出射的第一光束生成。第二透镜将分束元件出射
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117368156A
(43)申请公布日2024.01.09
(21)申请号202210756945.0
(22)申请日2022.06.30
(71)申请人华为技术有限公司
地址5181
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