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紫外激光多层 FPC 钻盲孔工艺改进与机理研究

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单脉冲钻孔

（c)螺旋线扫描 (d)同心圆扫描图4-1 紫外激光钻百孔方法示意图

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利用紫外激光进行多层FPC钻盲孔的难点在于盲孔深度的控制和盲孔底部表面绝缘材料完全去除一致性，采用传统同心圆扫描或螺旋线扫描方法进行加工在微盲孔中心区域容易出现绝缘材料去除不干净或者造成内层铜笚剥离等问题。本章针对现有钻盲孔加工方式的不足提出了创新的定点一同心圆扫描结合加工方式，解决了传统直接采用同心圆扫描或螺旋线扫描钻盲孔加工方法中盲孔底部表面高度不均匀的问题。并结合Pl和铜材料的单脉冲刻蚀率公式和扫描光斑等效脉冲数公式，给出了采用定点一同心圆扫描结合方式加工FPC盲孔时激光脉冲能扯密度、激光频率、扫描速度、同心圆扫描间距与材料厚度之间的关系式。根据该关系式对多层FPC钻一阶盲孔参数进行了优化，获得了底部整洁光泽，锥度小，结构理想的盲孔．

材料特性和紫外激光作用机理

材料特性

实验中所用材料为Pl覆盖膜（厚度100μm)、紫铜