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本申请涉及经由有机蒸气喷射印刷OVJP来输送有机材料的装备和方法。所公开标的物的实施例提供一种装备，其具有设置于微制造流控裸片上的微喷嘴阵列的装置。所述装置可包括第一气体分布板和第二对置板，其中所述微制造流控裸片设置在所述第一气体分布板与所述第二对置板之间，其中所述第一气体分布板经由气密式密封不可逆地连接到所述微喷嘴阵列，并且其中所述第一气体分布板包括多个密封流动路径。歧管可以可逆地连接到所述第一气体分布板，其中所述微制造流控裸片和所述第一气体分布板和所述第二对置板设置在所述歧管之间。导热板可以
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117396050A
(43)申请公布日2024.01.12
(21)申请号202210927006.8
(22)申请日2022.08.03
(30)优先权数据
17/854,2322022
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