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本发明公开了一种组合波导的制备方法及器件结构，通过多次图形化，在衬底上形成第一波导层和第二波导层的多层图形结构，并利用在第一包覆层上形成的沟槽图形，制作具有多样形态的第二波导层图形，可与第一波导层图形之间通过不同组合方式形成包括多种形式波导的组合波导结构，从而利用工艺组合集成，可以同时加工出多种形式和厚度的波导，以满足不同的设计需求。本发明仅通过四道光罩，即可利用第一波导层和第二波导层实现多种不同形态的波导结构，并可通过组合进一步形成组合波导，提高了设计的选择性和灵活性，减少了工艺步骤，由此降低
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN115343804A
(43)申请公布日2022.11.15
(21)申请号202211042153.3
(22)申请日2022.08.29
(71)申请人赛丽科技（苏州）有限公司
地址2
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