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本发明实施例是关于计算上高效的基于X射线叠盖测量系统与方法。基于在多个不同入射角及方位角下测量的每一x射线衍射级内的强度变化而估计计量目标的不同层之间的叠盖误差。所述对叠盖的估计涉及使共同级的强度调制参数化，使得低频率形状调制由一组基函数描述，且高频率叠盖调制由包含指示叠盖的参数的仿射‑三角函数描述。除叠盖之外，还基于测量模型与所述所测量衍射级的所述强度的拟合分析而估计所述计量目标的形状参数。在一些实例中，同时执行所述对叠盖的估计及所述对一或多个形状参数值的估计。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN111948239A
(43)申请公布日2020.11.17
(21)申请号202010794135.5H01L21/66(2006.01)
(22)申请日2
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