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本发明公开了一种基于超材料与扫描振镜的光调制器及其制备方法，光调制器包括外框架、振镜、与外框架固定连接的若干个第一固定端梳指、与若干个第一固定端梳指对应匹配的若干个第一移动端梳指、与第一移动端梳指固定连接的内框架、与内框架固定连接的若干个第二固定端梳指、与若干个第二固定端梳指对应匹配的若干个第二移动端梳指、连接外框架与内框架的内弹簧、连接内框架和振镜的镜面弹簧，振镜的镜面设置有超材料结构，第二移动端梳指固定连接振镜。本发明实施例实现对入射光的主动调控，扩展应用前景，便于批量生产，可广泛应用于光器
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117389031A
(43)申请公布日2024.01.12
(21)申请号202311282577.1
(22)申请日2023.09.28
(71)申请人中山大学
地址510275
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