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2024-01-13 发布于四川
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一种用于制备显示面板的缺陷检测系统.pdf

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本申请属于缺陷检测相关领域，并公开了一种用于制备显示面板的缺陷检测系统，包括基座；气浮支撑装置，设置于基座上，气浮支撑装置用于通过气膜悬浮无接触地支撑基板；纠偏输送装置，设置于气浮支撑装置的一侧，用于将基板输送至气浮支撑装置的工作气浮区；驱动装置，包括横梁、驱动装置，横梁横跨于基座上，驱动装置设置于横梁的两侧；对位相机，与一侧的驱动装置滑动连接，用于对基板上的标记点进行拍摄，配合纠偏输送装置对基板的角度进行调整；光学检测装置，与另一侧的驱动装置滑动连接，包括多个线扫相机，用于对基板进行光学检测，

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117388272A

(43)申请公布日2024.01.12

(21)申请号202311317676.9

(22)申请日2023.10.12

(71)申请人武汉国创科光电装备有限公司

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