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本发明公开了基于感光蓝油的低成本微织构制备方法，具体按照以下步骤实施：步骤1、清洗工件并在工件表面涂覆蓝油；步骤2、涂覆蓝油的工件烘干并自制掩模；步骤3、将掩模置于烘干的工件上进行曝光，然后在显影液中浸泡并冲洗；步骤4、再次烘干并进行刻蚀；步骤5、将完成刻蚀后的工件置于脱模液中浸泡5～10min，再用软毛刷轻刷表面以去除蓝油，完成脱模后将工件用去离子水冲洗两次并吹干。本发明利用感光蓝油作为抗蚀刻剂加工表面微织构，在大表面积、规模化的微织构加工中具有极大的成本优势，有助于进一步促进表面微织构的工程
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117389112A
(43)申请公布日2024.01.12
(21)申请号202310813585.8G03F7/40(2006.01)
(22)申请日2023.07.0
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