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本发明抑制有机发光材料的蒸镀中的蒸镀不足及污染物质的蒸镀。蒸镀掩模制造方法的一个方案经由以下工序：对具有设置有多个开口的金属层和与该金属层相接触地扩展的树脂层的复合材料从该金属层侧照射激光，在该开口内露出的该树脂层部分中形成贯通孔的孔形成工序；和对于形成有上述贯通孔的复合材料，通过从上述金属层侧照射紫外光而除去该金属层上的碎片的除去工序。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117381200A
(43)申请公布日2024.01.12
(21)申请号202310842285.2
(22)申请日2023.07.11
(30)优先权数据
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