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一种光调制结构及其制备方法.pdfVIP

一种光调制结构及其制备方法.pdf

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    本发明提供一种光调制结构及其制备方法，光调制结构包括：第一波导，用于进行光传输；第二波导，由脊形复合波导结构构成，所述脊形复合波导结构的脊形部分由波导材料构成、所述脊形复合波导结构的平板区由具有电光效应的电光材料构成，用于当光从所述第一波导转换到所述第二波导时，在第二波导的平板区中进行电光调制；电极，用于在所述脊形复合波导结构的平板区形成电场。本发明提供的光调制结构稳定性好、损耗低且与现有的CMOS工艺兼容性好而易于量产。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117389072A

    (43)申请公布日2024.01.12

    (21)申请号202311521073.0

    (22)申请日2023.11.14

    (71)申请人国科光芯（海宁）科技股份有限公司

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