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2024-01-13 发布于四川
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提供了一种固态前驱体相变装置，其包括筒体、压盖、进料管、进气管、出气管、滤板、滤板座。筒体连接压盖形成具有内腔的圆柱型容器。滤板座在筒体的内部，设置在筒体的底部。滤板连接滤板座，且将内腔分隔为上部的第一腔体和下部的第二腔体。进料管和进气管连接到压盖并与第一腔体连通，固态前驱体能够通过进料管进入第一腔体并落到滤板上，载气能够通过进气管进入第一腔体。固态前驱体能够在受热后形成气态前驱体，滤板为能够过滤固态前驱体及固体杂质的多孔滤盘。出气管穿过压盖、滤板，并与第二腔体连通，经滤板过滤后的气态前驱体能够

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220327966U

(45)授权公告日2024.01.12

(21)申请号202321856345.8

(22)申请日2023.07.14

(73)专利权人森松（苏州）生命科技有限公司

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