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物理量传感器及其制造方法、复合传感器及惯性测量单元.pdfVIP

物理量传感器及其制造方法、复合传感器及惯性测量单元.pdf

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    一种物理量传感器及其制造方法、复合传感器及惯性测量单元，能够通过粘合剂提高传感器元件和电路元件之间的胶黏性，并减少偏压输出信号的波动的物理量传感器。所述物理量传感器包括：物理量传感器元件，包括与基板接合以在内部构成收容空间的盖、以及收容在所述收容空间的物理量传感器元件片；以及电路元件，经由粘合剂粘合在所述盖的外表面上，在所述盖上，从贯通所述收容空间和所述相反侧的表面之间并由密封部件密封的贯通孔的内壁，遍及所述相反侧的表面的所述贯通孔的周缘设置有电极，在剖视下，所述电极的所述周缘区域的厚度相比于所

    (19)中华人民共和国国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN110553634A

    (43)申请公布日

    2019.12.10

    (21)申请号20191

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