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一种电子级硅烷生产中在线脱除含卤素化合物杂质的系统和方法.pdfVIP

一种电子级硅烷生产中在线脱除含卤素化合物杂质的系统和方法.pdf

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    本发明公开了一种电子级硅烷生产中在线脱除含卤素化合物杂质的系统和方法，属于高纯制备电子级硅烷技术领域，该系统的粗镏塔、脱轻塔和脱重塔的顶部均设置有冷凝器；粗镏塔的硅烷出口、输送泵和脱轻塔的硅烷入口经管路依次连接，脱轻塔底部的硅烷出口与分子筛柱一底部经管路连接，分子筛柱一顶部与脱重塔的硅烷入口经管路连接；脱轻塔的顶部冷凝器出口与分子筛柱二底部经管路连接，分子筛柱二顶部与粗镏塔上部入口经管路连接；粗镏塔、脱轻塔和脱重塔的底部均连接有再沸器。本发明通过硅烷脱除含卤素化合物杂质保证产品质量达到6N以上，

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117379814A

    (43)申请公布日2024.01.12

    (21)申请号202311363907.XB01D15/10(2006.01)

    (22)申请日2023.10.

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