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一种超真空环境作业的边缘夹持式晶圆取放机械手臂.pdfVIP

一种超真空环境作业的边缘夹持式晶圆取放机械手臂.pdf

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    本发明公开了一种超真空环境作业的边缘夹持式晶圆取放机械手臂，涉及晶圆搬运领域。现提出如下方案，其包括底座，所述底座的输出端转动连接有手臂，所述手臂的输出端转动连接有拿取机构，所述拿取机构包括：连接座，转动连接在手臂上；指臂，固定在连接座上；夹指，固定在指臂上，所述夹指用于夹持固定晶圆；驱动组件，固定在指臂上，所述驱动组件用于驱动夹指；分流管束，所述分流管束的端部分别与夹指和驱动组件固定，所述分流管束用于向夹指分配提供压力；节流组件，固定在分流管束上，所述节流组件用于对分流管束节流。通过夹指夹持晶

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117381819A

    (43)申请公布日2024.01.12

    (21)申请号202311702356.5

    (22)申请日2023.12.12

    (71)申请人泓浒（苏州）半导体科技有限公司

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