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本发明提供一种电磁致动器的位移自感知装置，该方法采用电感线圈与永磁体金属表面之间的涡流效应耦合进行位移感知。本发明实现了一种低频驱动信号和高频传感信号同时工作且互不干扰的带位移自感知的驱动电路，该电路由电感测量单元、驱动单元、隔离电容和隔离电感组成。本发明能够在驱动电磁致动器同时获取线圈的电感信息，进而转化为电磁致动器的位移信息。采用本发明的柔性电磁致动器样机可以产生超过200μm的运动，位移传感分辨率高达0.034μm，并在传统音圈电机上进行了测试，实现了2mm以上的运动行程和0.16μm分辨
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117394608A
(43)申请公布日2024.01.12
(21)申请号202311365973.0
(22)申请日2023.10.20
(71)申请人中国科学技术大学
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