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2005年第33卷第4期流体机械59

高级别洁净室气流组织的优化

赵金亮，刘俊杰，朱能

(天津大学，天津300072)

摘要：利用CFD方法对拟采用风机过滤器单~(FFUs)洁净空调方案的ISO5级电子工业洁净室进行模拟，得出室内

气流速度场，分析其性能，通过理论公式计算所能达到的洁净度。认为通过合理布置末端FFU送风口位置及选择回风形

式，以及选用较高级别的末端过滤器，可以在FFU满布率较低时达到较高的洁净度级别。

关键词：计算流体动力学(cF1))；洁净室；风机过滤器单元；满布率

中图分类号：333854．8文献标识码：A

Opt~ndzationofmowinIIigllCleanlinessLevelCleanroom

zHAOJin-liang，LIUJun-jie，ZHUNeng

(rrianjinUniversity，Tian／in300072，China)

A删：ByCFDtechnique，thevelocityfieldsofaISOclass5cleanroomwihtnair-conditioningsystemwassimulatedanditsper—

formancewas删yzed，hteoreticalformulaisapplidetogainhtecleanliness．TheresultshowsthatselcetingproperlocationofFFUs，ap—

pmpriatemodeofoutletnadhishlevelterminalfilter，highercleanlinesslevelCnabeobtainedinspiteoflowercoveragerate．

Keyw0ls：computationalfluiddynamics；clenaroom；fnafliteruints；coveragerate

1引言从流动的雷诺数来考虑，洁净室的气流均为

紊流llj，空气的流动满足连续性方程、动量方程和

随着计算流体动力学(CFD)技术自身的发能量方程。对于工程问题，我们不需要关心紊流

展，其已广泛应用于暖通空调和洁净室等工程领的精细结构及其瞬时变化，而只关心紊流随机变

域。通过计算机求解流体所遵循的控制方程，可量的有关平均值，因此，本文采用雷诺时均方程紊

以获得流动区域的流速、温度、组分、浓度等物理流粘性系数法，流动模型采用暖通空调广泛采用

量的详细分布情况。本文利用CFD软件，对采用的标准k一￡二方程模型，k一￡模型通过求解紊流

风机过滤器单元净化空调系统的某微电子洁净厂动能与紊流动能耗散率的输运方程得到紊流粘性

房的ISO5级洁净室进行计算机模拟，利用所得到系数。

的速度场分析评价其性能，利用理论计算验证其控制方程的通用形式[]：

平衡态的洁净度，并提出一些应用中的注意事项，div(ID一r，eograd~)=S

为实际工程应用提供参考。最后通过实地现场测，式中p——空气密度，kg／m3

试，证明减少末端高效过滤器的个数同样可以得——气流速度矢量，m／s

到较高的洁净室级别，并满足动态工作的要求。r，厂有效扩散系数，ks／m·s