原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供了一种不含羟胺的有机清洗剂及其制备方法。有机清洗剂组分包括：二甲基亚砜、4‑羟基硫代吗啉及其衍生物、邻苯二酚、甲醇和余量的水。其制备方法是先将4‑羟基硫代吗啉及其衍生物和水混合得到溶液A；再将二甲基亚砜、甲醇和邻苯二酚混合，加热搅拌后得到溶液B；待B溶液冷却后，加入溶液A，搅拌均匀后得到产品。本发明的有机清洗剂清洗效率高，能有效去除金属垫晶圆结构表面的残留物；对金属铝、钨、钛的腐蚀速率小，不破坏金属垫晶圆结构；且不含羟胺，生产成本低，使用方法简单，无中间漂洗过程，简单安全，提高清洗效率
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117402687A
(43)申请公布日2024.01.16
(21)申请号202311124379.2
(22)申请日2023.09.01
(71)申请人湖北兴福电子材料
文档评论（0）