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发明涉及一种高灵敏度、低噪音的数字水听器及其使用方法,包括:外壳,前端设有空气仓、尾端设有腔室,空气仓和腔室通过隔板隔开;集成芯片,位于空气仓中且连接于隔板的一侧,集成芯片包括MEMS声敏薄膜和光芯片,MEMS声敏薄膜位于光芯片的前端;光芯片包括光波导芯片、激光器和光电转换模块,光波导芯片中集成有参考光路和探测光路,探测光路的前端与MEMS声敏薄膜之间预留有间隙,参考光路的两端分别与激光器和光电转换模块连接;处理芯片,设置在腔室中且连接在隔板的另一侧,处理芯片与光电转换模块连接。发明提高信噪比、
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117405212A
(43)申请公布日2024.01.16
(21)申请号202311392240.6
(22)申请日2023.10.25
(71)申请人挚感(苏州)光子科技有限公司
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