AMAT Endura2 AL HP Chamber 预防性维护保养手册.docxVIP

AMATEndura2ALHPChamber预防性维护保养手册

目录TOC\o1-1\h\z\u

2.目的 2

3.适用范围 2

4.相关术语 2

5.作业安全卫生与环保须知事项 2

6.维护频度的指定 3

7.定期维护操作流程 3

8.维护操作的Checklist 14

1目的

本手册是针对AMATEndura2ALHPChamber预防性维护保养的操作指导书。根据本手册进行设备的预防性维护保养,使之能够满足良好的稳定的工艺要求。

2适用范围

适用机台：AMALSAxx的ALHPChamber。

腔体结构与外观。(图1)

ChamberType

ChamberType

图1

相关术语：

术语

全称

描述

EMO

EmergencyOff

紧急停止按钮

PM

PreventiveMaintenance

预防性维护

MES

ManufacturingExecutionSystem

半导体制造执行系统

作业安全卫生与环保须知事项：

作业环保注意事项：

工艺废气排放：NA

工艺废水排放：NA

工艺噪音排放：NA

废物及处理方法：

项目

灰色垃圾桶

黄色垃圾桶

紫色垃圾桶

绿色垃圾桶

红色垃圾桶

无害废弃物

(氧化性)

(毒性)

(酸性)

(易燃性)

普通废弃物

★

沾有酒精

★

作业安全