原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及硅基光电异质集成技术领域，具体公开了一种集成波导型UTC‑PD的硅基芯片及其制备方法、光纤信号处理器，方法包括：提供一集成有硅波导的硅基底，在所述硅基底上的预设区域形成预设尺寸的凹槽；在硅基底上，所述硅波导的出射光在所述凹槽槽口所在的正投影空间中传播；将波导型UTC‑PD器件装配至所述凹槽内，使得硅波导在高度方向的中心与波导型UTC‑PD器件的稀释波导层在高度方向的中心之间的连线与所述硅基底的上表面平行；采用满足目标折射率要求的材料形成夹层，以填充所述凹槽的侧壁与波导型UTC‑PD器件
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117410377A
(43)申请公布日2024.01.16
(21)申请号202311353669.4
(22)申请日2023.10.19
(71)申请人无锡芯光互连技术研究院有限公司
地
文档评论（0）