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一种电场驱动柔性辊纳米压印光刻方法，采用柔性导电模具作为压印模板，柔性导电模具的一段固定在滚轴上，其余部分顺势缠绕在滚轴上，另一端固定在承载台上，使柔性导电模具自然下垂成摊铺状态，表现为柔性辊的形式；电压施加在柔性导电模具和衬底上，并为压印提供驱动力；通过滚轴的简单运动，柔性导电模具以柔性辊的形式实现连续的释放和回收从而完成压印的过程；本发明通过简单的控制方式使柔性导电模具以线接触的方式进行运动，以此可以避免气泡等缺陷的产生；尤其适用于晶圆级应力敏感的翘曲衬底，在适应衬底翘曲的同时，可避免外力引
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117406549A
(43)申请公布日2024.01.16
(21)申请号202311431570.1
(22)申请日2023.10.31
(71)申请人西安交通大学
地址710049
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