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半导体制程高纯度多孔金属限流器.pdfVIP

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  • 2024-01-17 发布于四川
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半导体制程高纯度多孔金属限流器.pdf

    本实用新型提供了半导体制程高纯度多孔金属限流器，包括接头，连接在接头内的套筒，连接在套筒内的烧结滤芯；所述接头一端设有第一台阶且向内延伸形成有第一凹槽，所述套筒一端设有第二台阶且向内延伸形成有第二凹槽，所述套筒位于第一凹槽内，所述烧结滤芯位于第二凹槽内。本实用新型提供的半导体制程高纯度多孔金属限流器，不含非金属材质或者弹性体，不会造成弯曲或者颗粒脱落，可以经受高温高压；另外，气流可均匀通过烧结滤芯数百个微通道，不会增加流动速度或者产生不规则的流动路径，不易形成堵塞与紊流，减少了磨损，大幅度提升了

    (19)国家知识产权局

    (12)实用新型专利

    (10)授权公告号CN220354200U

    (45)授权公告日2024.01.16

    (21)申请号202321960114.1

    (22)申请日2023.07.25

    (73)专利权人飞潮（上海）新材料股份有限公司

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