2023年光刻胶配套试剂项目规划设计纲要.docx

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光刻胶配套试剂项目规划设计纲要

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光刻胶配套试剂项目规划设计纲要

目录

TOC\h\z28879概论 3

254一、光刻胶配套试剂项目土建工程 3

16155(一)、建筑工程设计原则 3

28088(二)、土建工程设计年限及安全等级 4

18478(三)、建筑工程设计总体要求 5

25177(四)、土建工程建设指标 6

16870二、工艺说明 6

22785(一)、技术管理特点 6

29337(二)、光刻胶配套试剂项目工艺技术设计方案 7

18566(三)、设备选型方案 9

24657三、光刻胶配套试剂项目建设

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