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基于信息熵自适应决策融合的晶圆图缺陷模式识别方法.pdfVIP

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  • 2024-01-20 发布于四川
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基于信息熵自适应决策融合的晶圆图缺陷模式识别方法.pdf

    本发明提出一种基于信息熵自适应决策融合的晶圆图缺陷模式识别方法，结合不同深度卷积神经网络(DCNN)提取特征优势的信息熵自适应决策融合深度学习模型用于晶圆图缺陷模式识别。不同DCNN对不同缺陷模式识别效果各有优势，通过计算信息熵给不同DCCN的全连接层提取到的特征自适应赋予合理的权重，进而对输出结果进行决策融合得到最终融合特征。该融合特征更具有表达性，能够进一步提高最终的晶圆图识别分类准确率。最后，将融合特征输入到纠错输出编码和支持向量机（ECOC‑SVM）结合模型，以实现晶圆图缺陷模式识别分类

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117422967A

    (43)申请公布日2024.01.19

    (21)申请号202311453152.2

    (22)申请日2023.11.03

    (71)申请人桂林电子科技大学

    地址5410

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