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本发明公开一种掏筒刀具，包括刀柄、横向杆、竖向杆和刀头，刀柄用以安装在机床的主轴上，横向杆以滑动调节的方式水平设置在刀柄上，竖向杆以滑动调节的方式设置在横向杆的一端，竖向杆的延伸方向和横向杆的延伸方向相垂直，刀头设置在竖向杆的下端，刀柄转动依次带动横向杆、竖向杆、刀头一同转动，使刀头和硅材料接触后进行旋转磨削完成掏筒加工，滑动调节横向杆使竖向杆和刀柄之间的距离适合不同直径硅筒或硅棒的加工，以及滑动调节竖向杆使刀头和横向杆之间的距离适合不同厚度硅材料的掏筒或硅棒加工。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117415711A
(43)申请公布日2024.01.19
(21)申请号202311616824.7
(22)申请日2023.11.29
(71)申请人宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限
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