一种硅棒擦拭装置.pdfVIP

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本实用新型提供了一种硅棒擦拭装置。该硅棒擦拭装置包括:储水组件,储水组件包括储液箱体,储液箱体包括储水内腔,储水内腔中存储有擦拭液体,储液箱体的底部包括一个横向擦拭面;擦拭组件,擦拭组件内部包括储水腔体,储水腔体和储水内腔连通,擦拭组件包括至少一个纵向擦拭面,其中,纵向擦拭面所在的平面与横向擦拭面所在的平面垂直;横向擦拭面和纵向擦拭面上贴附有擦拭布,擦拭布浸润有擦拭液体。这样,在通过本实用新型实施例提供的硅棒擦拭装置擦拭硅棒时,在可以借助擦拭液体完成对硅棒表面的清洁擦拭工作的前提下,可以同时对硅

(19)国家知识产权局

(12)实用新型专利

(10)授权公告号CN220361603U

(45)授权公告日2024.01.19

(21)申请号202321384292.4B08B13/00(2006.01)

(22)申请日2023.06.

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