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移动光阑.pdfVIP

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    本申请属于半导体检测设备技术领域，尤其是涉及一种移动光阑。该移动光阑包括光阑组件、热传导件以及感温件；光阑组件包括光阑，热传导件及感温件均连接于光阑组件；感温件设置为用于获取光阑的温度，热传导件设置为基于感温件获取到的温度调节光阑的温度。可见，通过热传导件及感温件配合具有温度控制功能的模块以实现闭环控制，使得光阑处于合适温度，以加热挥发颗粒，有效防止因积碳造成光阑孔变形甚至堵塞。

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN117423594A

    (43)申请公布日2024.01.19

    (21)申请号202311190021.X

    (22)申请日2023.09.14

    (71)申请人中科晶源微电子技术（北京）有限公

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