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本申请提供一种射频电路、射频电源设备及电抗补偿方法，涉及射频技术领域，射频电路包括：射频电源、射频输出端、变压器、电抗补偿单元以及变比调节单元，射频电源用于向负载提供射频功率；射频输出端用于连接负载；变压器包括原边绕组和副边绕组，原边绕组连接于射频电源与射频输出端之间；电抗补偿单元与变压器的副边绕组串联连接,用于可选择性地提供补偿电抗；变比调节单元用于调节变压器的变比；其中，在射频电路需要进行电抗补偿时，电抗补偿单元提供补偿电抗，且变比调节单元调节变压器的变比，以对射频电路在原边绕组一侧的电抗进
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号CN117424575A
(43)申请公布日2024.01.19
(21)申请号202311734436.9
(22)申请日2023.12.18
(71)申请人深圳市瀚强科技股份有限公司
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